ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀,其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類,波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF),波長色散光譜儀主要部件包括激發(fā)源、分光晶體和測角儀、探測器等,而能量色散光譜儀則只需激發(fā)源和探測器和相關(guān)電子與控制部件,相對簡單。
波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線,根據(jù)Bragg定律,通過測定角度,即可獲得待測元素的譜線波長:
nλ=2dsinaθ (n=1,2,3…)
式中 ,λ為分析譜線波長;d為晶體的晶格間距;θ為衍射角;n為衍射級次。利用測角儀可以測得分析譜線的衍射角,利用上式可以計(jì)算相應(yīng)被分析元素的波長,從而獲得待測元素的特征信息。
能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測器,通過測定由探測器收集到的電荷量,直接獲得被測元素發(fā)出的特征射線能量:
Q=kE
式中,K為入射射線的光子能量;Q為探測器產(chǎn)生的相應(yīng)電荷量;k為不同類型能量探測器的響應(yīng)參數(shù)。電荷量與入射射線能量成正比,故通過測定電荷量可得到待測元素的特征信息。
待測元素的特征譜線需要采用一定的激發(fā)源才能獲得。目前常規(guī)采用的激發(fā)源主要有射線光管和同位素激發(fā)源等。
為獲得樣品的定性和定量信息,除光譜儀外,還必須采用一定的樣品制備技術(shù),并對獲得的強(qiáng)度進(jìn)行相關(guān)的譜分析和數(shù)據(jù)處理。